众为兴机器人
全球工业机器人代表性品牌
中国运动控制解决方案提供商
国产SCARA头部品牌
2017- 2019 年
SCARA 机器人出货量国产第一
2020- 2023 年
SCARA 机器人出货量全球第四
SCARA业务咨询
138 2884 5315
运动控制业务咨询
136 2095 7007
可根据设备布局定制臂长及Z轴行程
可选末端执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式
臂长：200/260/370/400mm 负载：6/8/12寸wafer
支持mapping功能 支持晶圆有无检测
采用闭环伺服控制
晶圆固定方式：真空吸附
国产替代首选-产品可全面替代日本进口品牌
兼容8/12寸晶圆校准 圆心校准精度：±0.1mm 缺口校准精度：±0.1°
可根据设备布局定制底座和伸展轴行程
臂展: 250mm 负载: 5晶圆 搬运物: Φ100Φ300mm晶圆 环境：大气
采用闭环伺服控制，可根据设备布局定制臂长
臂展: 260mm 负载: 3kg 搬运物: 4-8寸晶圆片盒 环境：大气
末端执行器类型：下托式
臂展: 520mm 负载: 2kg 搬运物: ≤Φ300mm晶圆 环境: 真空
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