众为兴机器人
全球工业机器人代表性品牌
中国运动控制解决方案提供商
国产SCARA头部品牌
2017- 2019 年
SCARA 机器人出货量国产第一
2020- 2023 年
SCARA 机器人出货量全球第四
SCARA业务咨询
138 2884 5315
运动控制业务咨询
136 2095 7007
可根据设备布局定制臂长及Z轴行程
末端执行器类型:下托式
臂展: 520mm 负载: 2kg 搬运物: ≤Φ300mm晶圆 环境: 真空
真空隔离,从容应对高真空环境
双工位交换晶圆动作(Swap)
臂展: 213.4mm 负载: ≤1kg 搬运物: ≤Φ300mm晶圆 环境:真空
采用闭环伺服控制
可根据设备布局定制臂长
臂展: 400mm 负载: 12kg 搬运物: 4-12寸晶圆片盒 环境:大气
可根据设备布局定制臂长和Z轴行程
可选配免电池绝对式编码器
可选mapping传感器类型:对射式、反射式
可选末端执行器类型:真空吸附式、夹持式、翻转吸附式
臂展: 420mm 负载: 4kg 搬运物: ≤Φ300mm晶圆 环境:大气
可选末端执行器类型:真空吸附式、边缘夹持式
臂展: 640mm 负载: 4kg 搬运物: ≤Φ300mm晶圆 环境: 大气
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