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半导体晶圆机器人
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价格: TBA
采用闭环伺服控制可根据设备布局定制臂长及Z轴行程可选配免电池绝对式编码器可选mapping传感器类型:对射式、反射式可选末端执行器类型:真空吸附式、夹持式、 翻转吸附式
2024 - 09 - 03
价格: TA
采用闭环伺服控制可根据设备布局定制臂长及Z轴行程可选配免电池绝对式编码器可选mapping传感器类型:对射式、反射式可选末端执行器类型:真空吸附式、夹持式、翻转吸附式
2024 - 09 - 03
价格:
采用闭环伺服控制晶圆固定方式:真空吸附
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