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3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

型号: TA
  • 采用闭环伺服控制

  • 可根据设备布局定制臂长及Z轴行程

  • 可选配免电池绝对式编码器

  • 可选mapping传感器类型:对射式、反射式

  • 可选末端执行器类型:真空吸附式、夹持式、翻转吸附式


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  • 可根据设备布局定制臂长及Z轴行程

  • 可选配免电池绝对式编码器

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3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

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2024 - 09 - 03
价格: TA
采用闭环伺服控制可根据设备布局定制臂长及Z轴行程可选配免电池绝对式编码器可选mapping传感器类型:对射式、反射式可选末端执行器类型:真空吸附式、夹持式、翻转吸附式
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