AHY 系列晶圆机器人半导体机械手

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众为兴机器人

全球工业机器人代表性品牌

中国智能制造领先企业

国产SCARA头部品牌

2017- 2019 年

SCARA 机器人出货量国产第一

2020- 2023 年

SCARA 机器人出货量全球第四

业务咨询电话

138 2884 5315

AHY系列晶圆机器人

高可靠真空隔离，从容应对高真空环境

电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性

高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度

采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制

同时实现双工位交换晶圆动作（Swap）

AHY系列晶圆机器人

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2024 - 09 - 03

价格： AHY系列

●高可靠真空隔离，从容应对高真空环境●电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性●高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度●采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制●同时实现双工位交换晶圆动作（Swap）

2024 - 09 - 03

价格： AHY系列

高可靠真空隔离，从容应对高真空环境电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制同时实现双工位交换晶圆动作（Swap）

2024 - 09 - 03

价格： AHY系列

高可靠真空隔离，从容应对高真空环境电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制

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